안녕하세요, 램리서치코리아 대학생 기자단 신분으로 국내 최대 반도체 전시회 SEMICON KOREA 2022에 다녀온 3조의 김선주, 박소현, 오원재, 장민주입니다 :)
이번 SEMICON KOREA 2022는 3년 만에 오프라인 전시회로 9일 코엑스(COEX)에서 개최되었습니다! 국제반도체장비재료협회(SEMI)의 주최 하에 국내외의 약 500여 개의 반도체 기업들이 약 2000여 개의 부스의 규모로 참가하였습니다.
취재 당일, 저희는 봉은사역 7번 출구로 나와, 코엑스 전시관 B Hall로 향했습니다.
B Hall 앞에는 참관객들의 불편사항을 접수하고 해결해주는 Help desk가 위치해 있었으며, B Hall 출구 바로 옆에는 참관객들이 세미콘 코리아에서 배정해준 바코드를 이용하여 참관 등록을 하는 곳이 있었습니다.
SEMICON KOREA 2022는 1층 Hall A, B와 3층 Hall C, D, 두 개의 층에 걸쳐서 전시를 진행했습니다.
코로나 19 상황 속에서 오랜만에 오프라인 전시회가 개최된 만큼, 많은 관람객들이 참여해 최신의 반도체 업계 트렌드를 살펴볼 수 있는 기회였는데요 ~
업계 관계자 분들 뿐만 아니라, 반도체의 미래가 유망한 만큼 일반 학생 관람객이나 학계 관계자 분들의 발걸음도 끊이지 않았습니다.
반도체 장비 업계를 포함해 소재나 재료 등의 반도체 산업의 포괄적인 관련 기업들에서 각자의 기술과 제품들을 소개하는 반도체 산업의 장, SEMICON KOREA 2022 ! 저희 램리서치 코리아 대학생 기자단 3조와 함께 살펴볼까요 ?
오프라인으로 코엑스에서 진행된 전시뿐만 아니라, 온라인 상의 컨퍼런스 역시 진행되었는데요!
모든 분들께서 공통적으로 주장하셨던 부분은 바로, '반도체 시장의 성장 가능성' 그리고 그에 따른 '업계 내 협력의 필요성'이었습니다!
기조연설 외에도 다양한 온라인 컨퍼런스들이 진행이 되었는데요 ~
위와 같은 주제들로 반도체 업계의 전문적인 내용을 다루는 STS (SEMI Technology Symposium) 프로그램 역시 온라인 상에서 원어로 진행되었습니다.
또한 DEI(Diversity, Equity, and Inclusion) 프로그램의 일환으로 훌륭한 반도체 업계의 여성 인재 분들의 이야기를 들어볼 수 있는 Women-in-Technology 프로그램도 진행되었는데요 ~
램리서치에서도 Nichole Shin Director 께서 Dive into the Possibility라는 주제로 약 20분간 좋은 강연을 진행해 주시기도 하였습니다 :)
또한, Work Force Development, 즉 인재 양성 프로그램의 일환으로 반도체 업계로의 진출을 희망하고 있는 학생들을 위한 전문가 분들을 온라인 상에서 만나 말씀을 들을 수 있는 Meet the Expert 프로그램도 진행이 되었습니다.
램리서치의 이재호 Process Engineer 께서도 약 20분 간의 강연을 진행해 주셨습니다 :)
이 외에도 구매 설명회, 한미 반도체 투자 설명회, SEMI 어워드 등 반도체 업계의 다양한 관계자들과 반도체 업계로의 진출에 관심을 가진 수많은 사람들에게 아주 의미 있는 소통의 장이 된 SEMICON KOREA 2022!
저희 램리서치코리아 대학생 기자단 3조가 그 현장을 방문하여 더 깊이 있는 취재를 진행해 보았습니다 ~
1. SEMICON KOREA 2022 프로그램(WFD, STS DEI)과 반도체 업계 트렌드
2. 램리서치 Customer Center 소개
3. 램리서치의 새로운 고 선택비 식각장비(selective etch products) 제품군 소개
4. SEMICON KOREA 2022 관람 후 반도체 업계에 관한 고찰
5. SEMICON KOREA 2022 현장 방문 소감
1. SEMICON KOREA 2022 프로그램(WFD, STS, DEI)과 반도체 업계 트렌드
1) WorkForce Development
SEMICON KOREA 2022의 WFD는 WorkForce Development의 줄임말로써 Meet the Experts! 를 진행합니다. Meet the Experts!는 대학생만을 위한 멘토링 세미나입니다. 지속적인 반도체 산업의 정장을 위해 인력 확보의 중요성이 높아짐에 따라, 우수한 인재를 양성하여 반도체 산업으로 유입하는 목적을 지닌 프로그램입니다. 반도체 업계로 진로를 고려하고 있거나 관심 있는 대학생을 대상으로 하며, 다양한 직군의 엔지니어로부터 현장의 생생한 이야기를 들을 수 있습니다.
SEMICON KOREA 2022의 WFD 세션에서 램리서치는 Field Process Engineer에 관한 콘퍼런스로 참여했습니다. 램리서치의 Field Process Engineer 콘퍼런스에서는 현직 Field Process Engineer의 시선으로 바라본 Field Process Engineer에 대한 이야기를 들어볼 수 있었습니다.
램리서치와 같은 제조 설비 기업의 엔지니어는 하드웨어 직군, 프로세스 직군으로 나뉩니다. 하드웨어 직군에는 Field Service Engineer, Field Soft Engineer, Regional Product Specialist가 있으며, 프로세스 직군에는 Field Process Engineer, Regional Technology Group(RTG)로 구성됩니다. 신입 사원의 경우 대부분 Field Service Engineer로 장비의 설비, 설치 및 유지보수를 담당하게 됩니다.
Field Service Engineer와 Field Process Engineer의 차이로는 Field Service Engineer는 공정의 하드웨어를 다루고, Field Process Engineer는 반도체 공정이 최적의 조건에서 진행될 수 있도록 공정 솔루션을 제공한다는 점에서 차이가 있습니다.
2) Semi Technology Symposium(STS)
SEMICON KOREA 2022의 'Semi Technology Symposium(STS)' 온라인 콘퍼런스는 다양한 반도체 업체 전문가들이 각 주제에서 높은 수준의 강연을 제공하고 있습니다!
램리서치는 이 중에서 'Advanced Lithography', 'Plasma Science and Etching Technology', 'Advanced Materials & Process Technology' 주제에 참여하여 유익한 기술 트렌드를 강연해주셨습니다.
● [Advanced Lithography]
A study of the Impact of Line Edge Roughness on Metal Line Resistance Using Virtual Fabrication
(가상 Fabrication을 이용한 line edge 거칠기가 금속 선 저항력에 미치는 영향에 관한 연구)
- 강연자 : Qingpeng Wang
● [Plasma Science and Etching Technology]
Meeting the Challenges of Next Generation NAND Flash Technology Nodes Through Etch and Deposition Co-optimization (식각 및 증착의 공동 최적화를 통한 차세대 NAND 플래시 기술 노드의 과제 해결)
- 강연자 : Meihua Shen
● [Advanced Materials & Process Technology]
Development and Technical Analysis of New Innovative Logic Architectures Using Semiconductor Process Modeling (반도체 공정 모델링을 이용한 새로운 혁신적인 로직 아키텍처의 개발과 기술적 분석)
- 강연자 : Benjamin Vincent
● [Advanced Materials & Process Technology]
New, Innovative Solutions for Heterogeneous Integration (이종 집적화를 위한 새롭고 혁신적인 솔루션)
- 강연자 : CheePing Lee
STS가 모두 영어로 진행되고, 대학생 수준에서 다소 난도가 높았으나 램리서치의 높은 기술력을 배울 수 있는 기회였습니다. 램리서치의 STS 온라인 콘퍼런스에는, 어떤 공정 변수를 고려해야 공정 문제에 대응할 수 있는지 소개하고 있습니다. 또한 앞으로 반도체 시장에서 소자 미세화에 대응하려면, Equipment Intelligence 기술을 공정에서 어떻게 활용해야 할지 생각해보게 됩니다.
반도체 시장과 엔지니어에게 경쟁력 역량을 갖추기 위해 꾸준한 공정 개발의 노력을 해야 함을 느낄 수 있는 시간이었습니다! :)
3) Diversity, Equity, and Inclusion(DEI)
SEMICON KOREA 2022의 'Diversity, Equity, and Inclusion(DEI)' 세션의 일환으로 훌륭한 반도체 기술 업계에 종사하고 계신 여성 리더 분들의 이야기를 들어볼 수 있는 Women-in- Technology 프로그램이 진행이 되었습니다.
산업계의 DEI 증진을 통해서 다양하고 창의적인 인적 자원의 활용이 결과적으로 산업의 발전에 기여한다는 메세지 전달을 목적으로 진행된 세션인 만큼, 현업에 종사하고 계신 분들 뿐만 아니라 앞으로 사회로 나아가게 될 학생 등 다양한 대상에게 영감을 주고 비전을 심어주는 기회였습니다 :)
램리서치코리아에서는 Nichole Shin Director께서 'Dive into the Possibility'라는 주제로 약 20분간 자신의 커리어가 어떻게 진행되었고, 어떤 마인드로 지금까지 왔는지 이야기 해주셨고, 여성 엔지니어분들에게 진심어린 조언이 담긴 연설을 진행해 주셨습니다!
2. 램리서치 CUSTOMER CENTER소개
램리서치는 SEMICON KOREA 2022에서 전시회 부스를 운영하지 않지만, 디지털 스크린과 같이 전시장 곳곳에서 램리서치를 찾을 수 있습니다!
램리서치는 2층의 CUSTOMER CENTER를 운영하고 있었습니다. 고객과 상담하거나 제품을 전시하는 1층, 3층 전시회장과 달리, CUSTOMER CENTER는 오직 고객을 상대로 상담하는 장소였습니다.
실제 고객을 맞이하는 장소이다 보니 차분한 분위기가 느껴졌습니다! 코로나 19에 대비하여 QR 체크와 손 소독, 체온 측정의 과정을 통해 철저한 방역 시스템을 갖추고 있었고, 많은 램리서치 관계자분을 뵙고 대화할 수 있었습니다.
대학생 신분으로 이런 곳까지 들어와 볼 수 있어 영광이었습니다 :)
3. 램리서치의 새로운 고 선택비 식각장비(selective etch products) 제품군 소개
이번 SEMICON KOREA 2022 기간 중 램리서치는 3D 로직 및 메모리 반도체 개발과 제조를 위한 초고도 선택비 정밀 식각을 제공하는 고 선택비 식각 장비 제품군(Selective etch products)을 출시했습니다. 지금부터 새로운 제품 군에 대해 소개하도록 하겠습니다.
1. 출시 배경
반도체가 고집적화되는 ‘Scaling down’이 한계에 도달하면서 반도체 제조업체는 ‘GAA(Gate- All Around)’구조로 전환하고 있습니다. GAA는 게이트가 채널의 4개면을 모두 감싼 구조로서, 게이트가 채널을 감싸는 면적이 넓어질수록 전류의 흐름을 효율적으로 제어할 수 있어 소비전력과 크기를 감소시키는데 유리합니다.
이러한 반도체 공정 기술의 변화는 반도체 공정 장비 기술의 변화로 이어집니다. GAA구조는 웨이퍼 표면을 모든 방향으로 균일하게 식각하는 기술을 필요로 합니다. 이러한 요구에 맞추어, 램리서치는 고선택비 식각 장비 제품군(Selective etch products)인 ‘Argos’, ‘Prevos’, ‘Selis’를 출시했습니다.
2. 고 선택비 식각 장비 제품군의 구성
램리서치의 고 선택비 식각 장비 제품군은 3가지의 장비로 구성됩니다.
- 선택적 식각
램리서치의 새로운 식각 제품군은 고해상도 에너지 튜닝과 원자층 정밀도를 위한 추가 단계, 공정, 챔버 조합을 통해 초고도 선택비를 실현하고 있습니다! 따라서 Si를 남기고 SiGe를 제거하여 극단적으로 낮은 에너지 범위에서 신소재 GAA구조를 형성할 수 있습니다.
- 등방적 식각, 균일한 식각
램리서치의 새로운 식각 제품군은 옹스트롬 수준의 정밀도를 다룹니다. 따라서 등방성 식각에도 웨이퍼 표면을 손상하거나 변형시키지 않습니다. 또한 제거해야 하는SiGe 물질을 원자 수준으로 정확한 양을 제거할 수 있습니다.
1) Argos
Argos는 MARS(Metastable Activated Radical Source, 준안정 라디칼 소스) 기술을 탑재하여 웨이퍼 표면 처리 기술과 Particle과 같은 오염 제거 기술을 가능하게 합니다. 반도체가 고집적화됨에 따라 마스크의 크기가 작아지면서 식각의 중요성은 매우 커졌는데, Argos는 이러한 기술의 흐름을 정확히 따라갈 수 있도록 도와줍니다.
2) Prevos
Prevos는 빠른 온도 제어와 함께 새로운 식각 가스를 이용하여 산화막과 금속막에 대한 초고도 식각을 제공하는 장비입니다. 이 때 활용되는 식각 가스는 램리서치가 독점 기술로 개발한 새로운 식각 가스입니다.
식각 공정이 고도로 발전함에 따라, 식각 공정뿐만 아니라 식각 공정에 이용되는 부가적인 요소들 또한 많은 발전이 필요합니다. Prevos에 적용되는 새로운 식각 가스는 이러한 식각의 부가적인 요소들에 새로운 발전 방향을 제시합니다.
3) Selis
Selis는 고유의 라디칼과 고온 식각 기능을 이용하여 웨이퍼 표면 구조를 손상시키지 않고 상하 균일한 식각 기술을 이용하여 초고도 선택적 식각을 하는 장비입니다.
GAA구조는 등방적이고 균일한 식각을 요구하기 때문에, 식각의 선택비가 매우 높은 Selis는 최신 식각 공정 트렌드에 걸맞은 장비입니다.
Prevos와 Selis의 또 다른 장점은 아래의 사진과 같이 단일 시스템에 멀티 장비를 구성함으로써 공정 간 대기시간을 최소화하여 공정의 생산 유연성을 높일 수 있다는 장점이 있습니다.
이러한 램리서치의 고선택비 식각 장비 제품군은 램리서치의 한국 내 글로벌 생산기지인 ‘램리서치매뉴팩춰링코리아’에서 생산됩니다. 새로운 고선택비 식각 장비 제품군의 출시는 반도체 제조 산업 발전을 가속시킬 것이며 반도체 집적화의 한계에 새로운 도전장을 내밀 것입니다.
4. SEMICON KOREA 2022 관람 후 반도체 업계에 관한 고찰
SEMICON KOREA 2022에 참여하며 다양한 기업의 최신 기술 트렌드에 대해 알 수 있었습니다. 그 중 가장 주목한 것은 반도체의 다양한 산업들은 유기적으로 하나로 묶여 있다는 것입니다. 반도체 산업 발전을 위해서는 반도체 공정 장비만이 발전하는 것이 아니라, 반도체 공정 장비에 쓰이는 펌프, 장비 자동화를 위한 모터 등 다양한 산업이 함께 발전하게 됩니다.
1) 진공 장비
여러 산업 중에서도 심도 있게 본 것은 진공 장비에 관한 것이었습니다. 반도체 산업이 고집적화를 요구함에 따라, 그에 따른 반도체 장비 산업은 UHV영역까지 확장되었습니다. 다양한 공정에서 적절한 평균 자유 행정 거리가 보장되지 않으면, 공정 상의 이슈로 이어질 수 있기 때문입니다. SEMICON KOREA 2022에서는 UHV펌프와 진공 챔버 재료가 출품되었습니다. 이처럼, 반도체 산업은 타 산업의 발전 또한 선도합니다. 반도체 업계가 앞으로도 더욱 발전하기 위해서는, 타 산업과 어우러져 유기적으로 함께 상생하는 발전을 이끄는 것이 중요하다고 생각합니다.
2) 세정 공정 장비
반도체 공정은 불순물로 인해 수율 변화가 극심하게 나타날 수 있기 때문에 세정 공정이 매우 중요합니다. 따라서 수많은 세정장비 업체들은 더 미세한 입자까지 세정하고, 웨이퍼를 손상시키지 않는 기술을 강구하고 있습니다.
SEMICON KOREA 2022에서 볼 수 있었던 최신 반도체 세정 장비는 초임계 물질을 사용하고 있었습니다. 기존 세정공정은 웨이퍼를 회전시켜 불순물을 걸러내어 패턴이 휘거나 패턴끼리 붙는 문제가 발생합니다. 그러나 초임계 기술을 사용하는 세정 장비는 웨이퍼를 회전시키지 않고, 고압으로 생성된 초임계 물질로 액체를 건조하고 불순물 입자를 필터링합니다. 이로써 더 작은 입자를 제거하고 고등급의 공정을 구현할 수 있게 됩니다.
3) 노광 장비
이번 SEMICON KOREA 2022 전시를 둘러보며 느낀 점 중 하나로, 노광장비 즉 Lithography System의 발전과 앞으로의 발전 가능성이 도드라졌다는 것입니다. EUV lithography system이 그 대표적인 예시인데요, EUV는 Extreme Ultra Violet의 약자로 기존의 자외선을 이용하는 UV 공정보다 짧은 파장의 EUV를 이용하여 Lithography 공정을 가능하게 하는 공정 기술입니다. 아주 미세하게 진행되는 반도체 공정 특성상, 파장이 긴 빛을 사용하면 원하는 Pattern이 아닌 다른 Photo Resist에 빛이 조사되는 문제가 생길 수 있는데, 이에 파장이 아주 짧은 EUV를 이용하면 이 같은 문제를 줄일 수 있습니다.
5. SEMICON KOREA 2022 현장 방문 소감
램리서치코리아 대학생 기자단 김선주 박소현 오원재 장민주로 구성된 3조는 2월 9일에서 11일, 총 3일 간 진행한 SEMICON KOREA 2022 현장에 10일 오전에 방문하여 열심히 취재를 진행하였습니다 :)
3조의 팀원 별 소감을 들어보겠습니다!
김선주
안녕하세요 램리서치코리아 대학생 기자단 3조 김선주입니다!
처음 방문한 SEMICON KOREA 2022는 그 규모에 압도될 만큼 매우 커서 놀랐습니다. 우리나라에서 반도체 산업에 종사하는 사람이 이렇게 많다는 것을 느꼈고, 반도체 소재, 부품, 장비, 시스템 등 많은 반도체 관련 업체들을 알아 갈 수 있었습니다. 말 그대로 '반도체 생태계'라는 말을 이해하는 계기가 되었습니다.
많은 현직자분께서 대학생의 이해도에 맞추어 친절하게 회사를 설명해주셔서 감사했습니다. 또한, 글과 그림으로만 보며 공부했던 반도체 공정을 실현하는 장비를 직접 눈으로 보니, 책에서는 한두 줄로 설명되어 있던 간단한 공정 메커니즘을 더 높은 수율로 실현하기 위해 얼마나 많은 엔지니어의 노력이 들었는지 느낄 수 있었습니다.
SEMICON KOREA 2022는 반도체 세계에 갓 입문한 예비 엔지니어에게 반도체 장비 트렌드와 반도체 종사자의 조언 등의 유용한 정보를 얻을 수 있는 시간이었습니다. 램리서치 기자단 활동을 통해 팀원들과 박람회를 더 깊이 있게 취재하고 이해할 수 있어서 매우 뜻깊은 시간이었습니다! 감사합니다!!
박소현
안녕하세요, 램리서치코리아 대학생 기자단 3조 박소현입니다.
SEMICON KOREA 2022는 참가 업체들이 이해관계가 있는 고객사와 '소통하는 창'이기도 하지만 대학생에게는 하나의 거대한 ‘반도체 학습의 장’이라고도 생각됩니다. 국내외 반도체 재료, 장비 회사들의 부스가 하나의 전시회 공간에 모여있기 때문에 힘들이지 않고 양질의 최신 정보들을 습득할 수 있었기 때문입니다.
또한, 램리서치코리아 대학생 기자단에 지원하기 전, 코로나 팬데믹 상황으로 인한 제한된 학습 조건에 아쉬움을 느꼈었습니다. 하지만, 세미콘 코리아 2022에 참관하여 반도체 장비를 실제로 눈으로 보며, 궁금한 점을 질문하고 피드백받는 과정을 거치면서 그러한 아쉬움들이 해소되는 동시에, 반도체 장비, 공정 솔루션에 대한 이해가 더욱 깊어졌습니다.
SEMICON KOERA 2022 현장에서 팀원들과 여러 업체들을 취재하면서 얻은 생생한 정보들을 기자단 활동을 통해 램리서치의 이해관계자, 취업 준비생, 반도체에 관심 있는 여러 독자분들에게 집약적으로 전달할 수 있는 기회가 생겨 굉장히 기쁩니다.
오원재
안녕하세요, 램리서치코리아 대학생 기자단 오원재입니다.
이번 SEMICON KOREA 2022에 직접 참관하면서 반도체 산업의 유기적인 흐름에 대해 파악하고 기술 발전의 최전선에서 최선을 다해 활동하고 계시는 현직자 분들의 크나큰 노력에 대해 몸소 느낄 수 있는 좋은 경험이었습니다.
WFD에 대한 램리서치코리아 대학생 기자단을 하며 공정 엔지니어에 관한 다양한 정보를 얻을 수 있었습니다. 기자단 활동으로 얻게 된 정보들은 제가 진로를 정하는 데 있어서, 그리고 실제 산업에서 활동하게 되었을 때 큰 힘이 될 것이라고 확신합니다.
반도체 산업에 관한 목표를 가진 학우들과 함께 서로 협업하며 다양한 소통을 하는 것은 가치 있는 기회였습니다. 본 활동은 지식적, 정신적으로 성장할 수 있는 즐겁고 소중한 활동이었습니다. 함께 같은 목표를 가지고 열심히 노력한 같은 조원분들께 감사의 말씀을 전합니다. 감사합니다.
장민주
안녕하세요, 램리서치코리아 대학생 기자단의 장민주입니다 :) 이번 SEMICON KOREA 2022 현장에 기자단의 신분으로 참여할 수 있어서 더 의미가 깊었던 것 같습니다. 반도체 장비 업계에 대해 평소 관심을 가지고 있었는데, 이렇게 현직에 계신 전문가분들에게 직접 설명을 들을 수 있는 흔치 않은 기회를 얻게 된 점에서 램리서치코리아 관계자 분들께 감사드립니다!
정말 입이 벌어질 정도로 놀랄 만큼 많은 글로벌 반도체 장비 업계가 참여한 이번 SEMICON KOREA 2022를 통해서 글로벌 반도체 장비 업계의 현재와 미래를 한눈에 파악할 수 있었던 점이 정말 좋았고, 앞으로 저의 진로를 결정하는 데에도 큰 도움이 되었습니다.
SEMICON KOREA 2022 현장을 다녀온 후에도 이렇게 포스팅을 통해서 방문하지 못한 다른 학우들에게 정보를 전달할 수 있다는 점 역시 정말 뿌듯하고 의미 있는 일이라고 생각합니다. 책임감을 갖고 포스팅을 진행한 만큼 많은 분들께서 좋게 봐주셨으면 좋겠습니다 :)
한 달이라는 길면 길고 짧으면 짧은 기간 동안 진행된 램리서치코리아 대학생 기자단 활동을 통해 같은 업계로의 진출을 꿈꾸는 다른 학우들도 만나고, 업계의 대단하신 전문가분들도 만나 뵈며 이야기를 주고받으면서 활동 자체에서 뿐만 아니라 부가적으로도 얻은 점들이 많았던 활동이었던 것 같습니다. 이상 3조의 장민주였습니다 감사합니다!
지금까지 램리서치코리아 대학생 기자단 3조의 SEMICON KOREA 2022 탐방기였습니다!
반도체 산업을 대표하는 전시회인 만큼 정말 많은 반도체 소재 및 장비 업체를 알아갈 수 있었고, 램리서치코리아 대학생 기자단 활동을 통해 반도체 업체들의 기술 경쟁력과 장비 트렌드를 깊이 배울 수 있었습니다!
기자단으로 SEMICON KOREA 2022를 취재할 수 있도록 많은 도움을 주신 분들께 감사드립니다!
감사합니다.
본 포스팅은 램리서치코리아 대학생 블로그 기자단 활동을 통해 작성되었으며, 포스팅 내용은 개인의 의견임을 밝힙니다.
출처
- SEMES 홈페이지, https://semes.com/ko/product/product/view
- 한주엽, “韓반도체 장비, 추격자서 `혁신 선도자`로… 세메스, 초임계 장비 첫 상용화”, 전자신문, 2017.02.27. , https://m.etnews.com/20170227000232?obj=Tzo4OiJzdGRDbGFzcyI6Mjp7czo3OiJyZWZlmVyIjtOO3M6NzoiZm9yd2FyZCI7czoxMzoid2ViIHRvIG1vYmlsZSI7fQ%3D%3D
- 김시균, “[IR52 장영실상] 세메스 '오메가K' / 12대 로봇 탑재한 반도체 장비… 생산성 향상”, 2019.12.30. https://www.mk.co.kr/news/it/view/2019/12/1097845/
- MERCK 그룹 홈페이지, “한국머크, 세미콘코리아에서 반도체 통합 소재 솔루션 공개”, (https://www.merckgroup.com/kr-ko)
- ASML 공식 홈페이지 (https://www.asml.com/en)
- HITACHI HITECH KOREA 공식 홈페이지 (https://www.hitachi-hightech.com/kr/index.html?version=)
- SEMICON KOREA 2022 공식 홈페이지 (https://www.semiconkorea.org/ko)
- SEMICON KOREA 2022 온라인 콘퍼런스 홈페이지 (https://semiconkorea2022.com/)
- TEL 공식 홈페이지, https://www.tel.com/
- Toray Engineering 공식 홈페이지, https://www.toray-eng.com/
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